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氦質譜檢漏儀(yi) 的檢漏方式通常有兩(liang) 種，一種為(wei) 常規檢漏，另一種為(wei) 逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內(nei) 而被檢測。
這一檢漏方式是基於(yu) 分子泵對不同質量的氣體(ti) 具有不同壓縮比(氣體(ti) 在分子泵出氣口壓強與(yu) 進氣口壓強之比)即利用不同氣體(ti) 的逆擴散程度不同程度而設計的。
逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nei) 壓強較高，SFJ-231/241型氦質譜檢漏儀(yi) 可達1000Pa(一般常規檢漏儀(yi) 為(wei) 0.05Pa以下)，適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受汙染，燈絲(si) 壽命長等優(you) 點。
