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在設備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進行檢漏。對於(yu) 製造完畢後無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫質量要嚴(yan) 格檢漏，不合格的及時重焊、補焊並重新檢漏，符合要求後才可以進行下一道工序。特別是對於(yu) 大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關(guan) 鍵，必要時應該設計、製造專(zhuan) 門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對於(yu) 采用雙層室壁水冷夾套的真空室體(ti) ，好首先組焊完內(nei) 層室壁並檢漏，確認沒有漏孔後再組焊外層室壁。同樣道理，對於(yu) 室壁外側(ce) 有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先對室壁做嚴(yan) 格檢漏，然後才能包覆外層結構。
在條件允許情況下，所有真空法蘭(lan) 與(yu) 其接管（包括真空室體(ti) 法蘭(lan) 與(yu) 室體(ti) 壁）均應采用焊後加工法蘭(lan) 表麵的工藝。不經焊後加工的法蘭(lan) ，即便在安裝調試階段可能滿足了密封要求，但在設備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，從(cong) 而導致法蘭(lan) 變形和密封性能下降。
加工製造過程中，嚴(yan) 格執行真空作業(ye) 衛生和作業(ye) 規範，對於(yu) 提高真空設備和係統的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型後，需經去油清洗並及時保護將有利於(yu) 提高焊縫的氣密性。已經加工完成的零部件動、靜密封麵，應該具有保護措施，嚴(yan) 防在存放、搬運、裝配過程中發生磕碰、劃傷(shang) 。使用焊接波紋管、金屬與(yu) 陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應精心作業(ye) ，尤其避免已經通過預檢漏後被損壞而產(chan) 生漏孔。
