電真空器件進行氣密性檢測時的注意事項

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1、溫度

環境溫度對漏孔的漏率有很大的影響，工件溫度與(yu) 室內(nei) 溫度一致時進行檢漏效果較佳。溫度對於(yu) 漏孔幾何尺寸和氣體(ti) 特性的影響都將改變漏率大小。漏孔通道的幾何尺寸會(hui) 隨溫度變化，同一個(ge) 漏孔在不同的溫度下，其漏率值是不一樣的。按國家標準GB/T12604.7-1995規定，標準漏率的溫度是25℃，否則，真空技術網(https://www.chvacuum.com/)認為(wei) 就應該對漏率值作相應修正，公式如下：

Q=Q1T/T1(12)

式中：T是標準漏率規定的溫度(25℃所對應熱力學溫度)，T1是被檢件的實際檢測熱力學溫度，Q是被檢件的標準漏率，Q1是被檢件在T1時的漏率。

2、臨(lin) 時密封汙染

被檢件與(yu) 輔助模具、檢漏儀(yi) 連接處，一般采用真空橡膠墊、橡膠圈、橡膠管、橡膠塞、酒精、真空封泥等進行密封處理。檢漏過程中，零部件需要多次與(yu) 真空封泥接觸。真空封泥雖然可以被汽油溶解，但仍會(hui) 有少量封泥進入被檢件，如密封狹小腔體(ti) ，不易發現和取出，成為(wei) 潛在放氣源，嚴(yan) 重影響電真空器件的性能。酒精、汽油在高溫下分解成CO2、CO、CH4、H2和水蒸汽，其化合生成的有機物也是汙染源。因此，檢漏完畢後一定要徹底檢查清理被檢件。

3、材料的吸附

真空管道、閥門、橡膠密封件屬於(yu) 吸氣材料，使用時間越長，氦氣等雜質氣體(ti) 吸附越多，檢漏時被吸入質譜室會(hui) 產(chan) 生表麵沉積物等汙染，導致氦本底過高，儀(yi) 器不穩定，達不到檢漏精度要求易造成漏檢。因此，需經常進行除氦處理，清洗質譜室表麵。

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